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Mikropositionierer MS30
Die Mikropositionierer der Serie MS30 sind in 3 unterschiedlichen Verstellwegen von 8, 18 und 30 mm erhältlich. Sie werden von dem innovativen Piezo-Trägheitsantrieb (slip-stick-Antrieb) der Fa. mechOnics ag angetrieben.
Mit der open-loop Steuerung CF30 sind kleinste Schrittweiten von ca. 10 nm möglich.
Die closed-loop Steuerungen CU30CL bzw. Nova können eine Wiederholgenauigkeit von bis zu 50 nm realisieren.
Hersteller: mechOnics ag
Anbieter: mechOnics ag 81825 München
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